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用於頻率控制的微機電系統

用於頻率控制的微機電系統 用於頻率控制的微機電系統

微型機電系統(MEMS)技術在利用高Q值微組件下,已於兆赫茲中達到過萬Q值。作為晶體管的近親而言,系統部件在單片實踐中是可擴展及有潛力的。因此,在多頻可重構易攜通訊應用上,實現低能源高穩定性的微型部件便獲得很大的關注。此外,如同模擬電路被集成一樣,隨著分離部件機械性連接後,微機電系統帶來的好處就可以成倍增長,以實現一個在信號與頻率處理上具有前所未有性能與功能的集成機體電路。研究方向集中於研發上述的全機體電路並穩定溫度對於電路的影響。